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降低单粒子效应的沟槽型IGBT的抗辐射加固结构制造技术
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下载降低单粒子效应的沟槽型IGBT的抗辐射加固结构的技术资料
文档序号:42204316
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本发明提供一种降低单粒子效应的沟槽型IGBT的抗辐射加固结构,在发射极N型重掺杂区域的下方添加薄层氧化层,阻碍电流路径,降低反馈电流,同时降低发射极端电场,抑制闩锁效应的发生,进而解决重粒子辐照后沟槽型IGBT容易发生SEB的问题,提高了S...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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