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本发明涉及流量测量装置技术领域,尤其是涉及一种具有限流功能的流量检测装置及制造方法,具有限流功能的流量检测装置包括主体和流量检测部,主体的两端分别连接管道,主体的内部设置有第一流动腔室,流量检测部设置于第一流动腔室;流量检测部包括半导体连接...该专利属于鸿舸半导体设备(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鸿舸半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。
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