下载一种提升供应电流的电子源结构及其制备方法的技术资料

文档序号:42187079

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本发明涉及真空微纳电子源的技术领域,更具体地,涉及一种提升供应电流的电子源结构及其制备方法,利用厚度均匀的绝缘层贴合覆盖与发射体串联的P型半导体凸起结构表面,覆盖绝缘层外表面的控制电极相对P型半导体处于高电位,在凸起结构侧表面形成大面积的载...
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