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基于光子晶体辅助亚波长光栅结构的长波红外气体传感器制造技术
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下载基于光子晶体辅助亚波长光栅结构的长波红外气体传感器的技术资料
文档序号:42182910
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本发明公开了一种基于光子晶体辅助亚波长光栅结构的长波红外气体传感器,包括下包层、第一光栅阵列、第二光栅阵列、一维光子晶体阵列以及第一芯层波导,第一光栅阵列、第二光栅阵列以及第一芯层波导分别设置在下包层上,一维光子晶体阵列为中空结构,且内嵌在...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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