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本技术旨在提供一种熔石英玻璃刻蚀装置，包括刻蚀槽、夹持机构、超声装置、水循环系统、刻蚀液循环系统、排液管；所述的刻蚀槽上端为开口结构，所述的夹持机构设于刻蚀槽内，用于夹持熔石英玻璃；所述的刻蚀液循环系统与刻蚀槽连接，为刻蚀槽内的刻蚀液进行循...
该专利属于广西产研神光先进光学研究中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西产研神光先进光学研究中心有限公司授权不得商用。

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