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本技术提供了一种晶圆冷却装置，包括：承载架，载具组由至少两个承托晶圆的载具构成，且载具组所包含的载具分别对应的对称中心呈直线形设置，位于同一台阶部上相邻排布的载具的对称中心形成第一连线，载具侧部开设供机械手伸入以传送晶圆的传送通道，传送通道...
该专利属于苏州芯默科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯默科技有限公司授权不得商用。

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