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一种Y波导芯片制造技术
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下载一种Y波导芯片的技术资料
文档序号:42167314
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技术公开了一种新型的Y波导芯片,其包括铌酸锂晶体、Y形分支波导和调制电极,其中,调制电极和Y形分支波导分别形成于铌酸锂晶体上,且铌酸锂晶体和调制电极的表面上还形成有介质保护膜。通过尤其在调制电极上方覆盖介质保护膜以替代传统的硅胶保护结构,能...
该专利属于济南量子技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过济南量子技术研究院授权不得商用。
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