下载一种铁电增强的砷化镓基异质结光电探测器及其制备方法的技术资料

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本发明涉及半导体器件领域,尤其涉及一种铁电增强的砷化镓基异质结光电探测器及其制备方法,包括衬底层、下电极层、半导体层、铁电功能层和上电极层,下电极层位于衬底层一侧,半导体层、上电极层由下至上依次设置于衬底层远离下电极层的一侧,铁电功能层位于...
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