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一种铁电增强的砷化镓基异质结光电探测器及其制备方法技术
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文档序号:42162479
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本发明涉及半导体器件领域,尤其涉及一种铁电增强的砷化镓基异质结光电探测器及其制备方法,包括衬底层、下电极层、半导体层、铁电功能层和上电极层,下电极层位于衬底层一侧,半导体层、上电极层由下至上依次设置于衬底层远离下电极层的一侧,铁电功能层位于...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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