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本发明公开了一种光电原位有源像素传感器，器件单元结构形成于混合衬底上，混合衬底由SOI衬底和半导体衬底组成。器件单元结构包括MOS晶体管和感光结构。MOS晶体管形成于SOI衬底半导体顶层上，MOS晶体管的沟道区由半导体顶层组成。感光结构包括...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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