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本申请涉及一种多晶硅生产用超纯水清洗节能降耗系统，超声槽、快排漂洗槽、超声纯水槽和水淬水箱的进水口均与超纯水管道相连，碱洗槽、超声槽和快排漂洗槽的出水口均与地罐相连，超声纯水槽和水淬水箱的出水口均与陶瓷膜过滤器的进口相连，陶瓷膜过滤器的过滤...
该专利属于内蒙古润阳悦达新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古润阳悦达新能源科技有限公司授权不得商用。

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