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本发明公开了一种液态金属微流体机械惯性开关，包括敏感单元永磁微机械惯性开关和致动单元液态金属微流体静电开关。液态金属微流体机械惯性开关采用微加工工艺制作，采用激光后工艺修调调整开关精度和阈值，采用环氧键合或局部加热键合的方法对微通道结构进行...
该专利属于西南科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南科技大学授权不得商用。

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