下载一种硅片爬升输送装置的技术资料

文档序号:42150306

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本技术涉及硅片生产技术领域,具体涉及一种硅片爬升输送装置,包括括固定座、滑动座、上带轮、下带轮、中带轮和第一横向皮带,滑动座可前后滑动地设置于固定座,且连接有驱动滑动座移动的横移驱动件;竖向传送机构和爬升传送机构相固定且连接于滑动座;两组上...
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