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本技术公开了一种OPC小试镀膜装置，包括：罩住工作台台面镀膜工作区的透明罩，伸入透明罩中的机械手，开设于透明罩一侧的取送样窗口，开设于透明罩另一侧的操作窗口，以及通过循环管道外接于透明罩的空气净化器。本技术的OPC小试镀膜装置，其能对导电铝...
该专利属于苏州恒久光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恒久光电科技股份有限公司授权不得商用。

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