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具有背侧扩散掺杂的背侧照明(BSI)图像传感器制造技术
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下载具有背侧扩散掺杂的背侧照明(BSI)图像传感器的技术资料
文档序号:4214619
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本申请案涉及一种具有背侧扩散掺杂的背侧照明图像传感器。一方法的实施例包含:在衬底的前侧上形成像素;将所述衬底薄化;在所述经薄化衬底的背侧上沉积经掺杂硅层;以及使掺杂剂从所述经掺杂硅层扩散到所述衬底中。一种设备的实施例包含:形成于经薄化衬底的...
该专利属于全视科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过全视科技有限公司授权不得商用。
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