温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种用于在束线植入系统中对带状离子束进行优化的系统及方法。所述系统包括设置在质量分析仪之后的束线中的校准传感器。校准传感器既能够测量带状离子束的总电流又能够提供关于带状离子束的垂直位置的信息。然后控制器可利用来自校准传感器的信息来调整...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。