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一种光芯片结构制造技术
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下载一种光芯片结构的技术资料
文档序号:42144583
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本发明提供一种光芯片结构,包括:依次层叠设置的衬底层及包层,其中包层内设有至少一波导单元,波导单元至少包括一功能波导结构及耦合波导结构,耦合波导结构至少包括一输入波导及输出波导,功能波导结构至少包括一功能波导区,功能波导区包括功能部、输入部...
该专利属于杭州质禾科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州质禾科技有限公司授权不得商用。
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