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本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种用于光学调制器芯片加工的接送料装置，包括送料箱本体，所述送料箱本体的右侧表面从前至后依次设置有控制面板、伺服电机和箱门本体，所述伺服电机的输出端表面设置有传送带，所述送料箱本体的顶面固定连接有第一安装...
该专利属于江苏浦丹光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏浦丹光电技术有限公司授权不得商用。

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