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本发明披露了一种抗蚀剂下层组合物，其包括从以下化学式１和２中的至少一种化合物与以下化学式３～５中的至少一种化合物获得的有机硅烷缩聚产物；以及溶剂。［化学式１］［Ｒ１］３Ｓｉ－［Ｐｈ１］１－Ｓｉ［Ｒ２］３［化学式２］［Ｒ１］３Ｓｉ－［Ｐｈ１］...
该专利属于第一毛织株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过第一毛织株式会社授权不得商用。

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