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本发明公开了一种在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法，薄膜能够抗离子液体腐蚀。本发明采用中频磁控溅射物理气相沉积技术，在不锈钢基底上直接沉积一层硼碳氮薄膜。...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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