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基于梯度碲化铋/碳纳米管复合薄膜的高性能、宽波带、柔性光电探测器制备方法技术
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文档序号:42123553
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本发明涉及柔性、宽波带(从红外到太赫兹波段)光电探测器领域,具体为一种基于梯度碲化铋/碳纳米管复合薄膜的高性能、宽波带、柔性光电探测器制备方法。将浮动催化剂化学气相沉积法制备并干法收集的高结晶性单壁碳纳米管薄膜转移到悬空支架上,使用磁控溅射...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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