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一种三维存储器制造技术
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文档序号:42107410
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本发明公开了一种三维存储器,属于半导体技术领域,所述三维存储器包括:衬底;多个垂直沟道,设置在所述衬底内;源极,设置在所述垂直沟道位于所述衬底的一端,整排所述垂直沟道共用同一所述源极;漏掺杂区,设置在所述垂直沟道远离所述源极的一端;栅极介质...
该专利属于杭州积海半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州积海半导体有限公司授权不得商用。
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