下载一种具有高注入能量的热电子晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:42105436

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本发明公开了一种具有高注入能量的热电子晶体管及其制备方法,该热电子晶体管包括衬底、外延结构和金属电极;外延结构包括由下自上堆叠的缓冲层、n+GaN集电极欧姆接触层、UID‑GaN集电极层、第一AlGaN集电极势垒层、第二AlGaN集电极势垒...
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