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本发明公开了一种具备频率稳定性的高功率射频电源，涉及高功率射频电源技术领域，包括射频部、外壳、底板，还包括恒温部、防护部，通过设置恒温部，能够对射频电源进行恒温，降低温度对射频电源的影响，可以适应不同环境，使用范围广；通过设置防护部，能够对...
该专利属于江苏神州半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏神州半导体科技有限公司授权不得商用。

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