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提供一种耦合增强压电微机械超声换能器及其制备方法，包括：衬底，设置有多个空腔；弹性层，制备于衬底上；压电层，采用具有各向异性的压电材料制备于弹性层上，与弹性层共同组成振膜结构；金属电极层，制备于压电层上，金属电极层包括多根主电极条，形成叉指...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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