温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种MFC测试平台，包含有氮气瓶、设置在氮气瓶上的高纯调压阀、与所述高纯调压阀连接有两个隔膜阀、对被测MFC进行测量的计量院MFC和对被测MFC进行采集的控制组件，两个隔膜阀分别与所述高纯调压阀单独连接。通过由氮气瓶、高纯调压阀...
该专利属于深圳谱晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳谱晶科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。