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一种反射型原子气室的光路结构制造技术
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下载一种反射型原子气室的光路结构的技术资料
文档序号:42080103
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本技术公开了一种反射型原子气室的光路结构,设计的气室结构属于双腔室结构,在硅片中湿法腐蚀形成存储腔室和光学腔室,两腔室之间由沟道连接,碱金属释放剂填充入存储腔室中,通过与玻璃片阳极键合实现密封,为提高反射率,在光学腔反射侧壁上溅射金属,激光...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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