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教师数据生成装置、教师数据生成方法、程序及缺陷检查装置制造方法及图纸
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文档序号:42076304
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本发明提供一种不易受到检测对象物的大小的影响的教师数据生成装置、教师数据生成方法、程序及缺陷检查装置。在具备处理器的教师数据生成装置中,处理器进行如下处理:针对包含检查对象的检查对象图像,提取包含成为检测对象的缺陷像素的2px以上的区域作为...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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