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本发明提供一种基于MEMS的线性差分电容式位移传感器，涉及微机电系统传感器领域，包括基体、芯片模块和测量模块，基体为半开口C字型结构，具有一端开口的空腔；芯片模块为支撑式悬空结构，包括设于空腔上方的差分电容位移传感层，差分电容位移传感层包括...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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