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一种超柔性多模态传感器的设计与制作制造技术
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文档序号:42065537
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本发明公开一种超柔性多模态传感器的设计及制作方法,包括:弹性应变层、腔道封装层、柔性敏感层,在基体腔道中注入液态金属(EGaIn),末端腔道嵌入镀银铜引出对应腔道的导体。最后形成相互独立的敏感单元,从单体结构设计思想和敏感材料的流动属性两个...
该专利属于北方工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方工业大学授权不得商用。
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