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一种二极管功率器件及其制备方法技术
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文档序号:42060383
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本申请提供一种二极管功率器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括沿第一方向依次层叠设置的第一金属层、第一重掺杂层、至少两层层叠的掺杂层、第二重掺杂层和第二金属层,第二金属层的一端沿第二方向还依次设置有场氧化层和场板,场氧化层和场板的一端与...
该专利属于捷捷半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过捷捷半导体有限公司授权不得商用。
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