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一种通用的多路气体配气装置。它是以ｎ×ｍ型为例，由输入二通阀组（ｎ６）、压力表组（ｎ５）、四通阀组（ｎ４）、开关阀组（ｎｍ３）、输出二通阀（ｎｍ２），经管路连接而成，可实现把多路气源配同时送到不同仪器（或工序）中。优点是气路简单清晰，操作方...
该专利属于哈尔滨电业局所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨电业局授权不得商用。

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