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本实用新型公开了一种旋转双光楔激光微孔加工装置，其特点它包括：由激光器、扩束镜及激光传输系统组成的超短脉冲的激光输出系统；由两个光楔、双光楔支承旋转机构及控制系统组成的双光楔光束偏转系统；由一个激光聚焦镜组及调焦机构组成的激光聚焦系统；由加...
该专利属于上海市激光技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

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