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本发明公开了一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列，涉及角度测量领域。本发明包括光源、光栅结构、光栅保护层、光阑、光波导和光探测器阵列；光栅结构位于光波导一端的一个表面上，光探测器阵列位于光波导另一端的上表面或是下表面；光阑位于...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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