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一种卧式真空镀膜设备制造技术
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下载一种卧式真空镀膜设备的技术资料
文档序号:42013464
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本申请公开了一种卧式真空镀膜设备,包括:真空室,具有带进料口、出料口的侧壁以及带检修口的顶壁,其内部设置有用于输送待镀膜工件的传送装置;门组件,可水平滑移地设置在所述顶壁,用于封闭所述检修口;密封组件,设置在所述顶壁和门组件之间;抬升装置,...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。
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