下载一种卧式真空镀膜设备的技术资料

文档序号:42013464

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种卧式真空镀膜设备,包括:真空室,具有带进料口、出料口的侧壁以及带检修口的顶壁,其内部设置有用于输送待镀膜工件的传送装置;门组件,可水平滑移地设置在所述顶壁,用于封闭所述检修口;密封组件,设置在所述顶壁和门组件之间;抬升装置,...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。