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本发明提出了一种可以自动生成晶圆图语义分割数据集的方法，用于晶圆图缺陷检测的分割和分类。该方法首先对单缺陷的晶圆图进行处理，包括图像滤波、聚类、去毛边等步骤，得到单缺陷晶圆图语义分割数据集，然后通过对单缺陷晶圆图语义分割数据集进行拼接组合，...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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