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一种新型氯硅烷精馏塔自动控制系统技术方案
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文档序号:42007637
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本技术公开了一种新型氯硅烷精馏塔自动控制系统,属于多晶硅生产技术领域,包括氯硅烷精馏塔、再沸器、冷凝器、回流罐、物料控制系统和能量控制系统;氯硅烷精馏塔的塔顶与冷凝器相连,冷凝器与回流罐相连,回流罐分别与回流管和塔顶采出管相连,回流管与氯硅...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。
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