下载一种自动抽吸回收废硅粉及处理尾气系统的技术资料

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本技术公开了一种自动抽吸回收废硅粉及处理尾气系统,属于多晶硅生产技术领域,包括硅粉过滤器、硅粉收集罐和料仓,硅粉过滤器和硅粉收集罐下端分别设有第一自动下料阀和第二自动下料阀,硅粉过滤器侧壁设有废气进管,硅粉过滤器上端设有尾气出管,料仓内设有...
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