下载一种用于远程等离子源的隔离驱动电路的技术资料

文档序号:41974559

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本发明公开了一种用于远程等离子源的隔离驱动电路,属于微电子技术领域。本发明能够在不改变驱动变压器体积的情况下,通过级联的方式增加耐压能力,通过将驱动变压器的输出信号进行储能再通过Ultrafast MOSFET Drivers进行驱动信号整...
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