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本发明公开了一种用于远程等离子源的隔离驱动电路,属于微电子技术领域。本发明能够在不改变驱动变压器体积的情况下,通过级联的方式增加耐压能力,通过将驱动变压器的输出信号进行储能再通过Ultrafast MOSFET Drivers进行驱动信号整...该专利属于东莞市晟鼎精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市晟鼎精密仪器有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于远程等离子源的隔离驱动电路,属于微电子技术领域。本发明能够在不改变驱动变压器体积的情况下,通过级联的方式增加耐压能力,通过将驱动变压器的输出信号进行储能再通过Ultrafast MOSFET Drivers进行驱动信号整...