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本发明涉及环保检测和处理技术技术领域，公开了一种超声脱气组件及其制造方法，包括石英玻璃基底。本发明通过所获得的模块的石英玻璃侧，可以其为基层，并在其上加工微流控芯片，与预制了微流道的PDMS模块键合，形成微流控芯片；其背面的压电陶瓷模块的电...
该专利属于安徽中科天立泰技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽中科天立泰技术有限公司授权不得商用。

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