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机器学习中多解问题的训练方法、X射线测量方法及装置，应用在纳米测量技术领域，利用X射线获取待检测目标件的散射图谱；利用测量模型对散射图谱分析，得到待检测器件的关键尺寸；测量模型是通过将样本器件的数据集输入至待训练测量模型中，基于联合损失函数...
该专利属于张江国家实验室所有，仅供学习研究参考，未经过张江国家实验室授权不得商用。

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