下载基于电子功函数的铝化物涂层化学去除剂设计方法及系统的技术资料

文档序号:41932368

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本发明提供了一种基于电子功函数的铝化物涂层化学去除剂设计方法及系统,所述方法包括:构建具有不同几何构型的第一仿真模型和多个第二仿真模型;将预设计的化学去除剂输入至第一仿真模型和每个第二仿真模型的不同吸附位置,计算不同吸附位置的电子功函数的平...
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