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本发明公开了一种基于ε相氧化镓薄膜的SAW滤波器及其制备方法，涉及半导体技术，针对现有技术中强依赖于光刻精度控制指宽的问题提出本方案。在所述并联谐振器或串联谐振器上方还铺设有一覆盖层，所述覆盖层的声速大于压电薄膜的声速；所述覆盖层用于根据压...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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