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本技术公开了一种用于反应釜清洗的可移动液体输送装置，包括平板车架、清洗液储存罐和液体输送装置，所述清洗液储存罐和液体输送装置设置于平板车架上，所述液体输送装置包括移动支架和清洗液输送装置，所述清洗液输送装置设置于移动支架上，所述移动支架用于...
该专利属于江苏先科半导体新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏先科半导体新材料有限公司授权不得商用。

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