下载一种反应釜真空度控制系统的技术资料

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本技术涉及一种反应釜真空度控制系统,其特征在于:包括反应模块、真空模块和尾气模块;通过对真空调节阀的控制来保持真空度的稳定,在保持进气量恒定的情况下,可与输入气体的流量各自独立控制。此系统中包含了尾气模块,无论是常压、正压操作过程还是负压操...
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