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本发明提供一种基于应力集中效应的压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。压力传感器包括由上至下依次布置的第一电极层、摩擦层、第二电极层和应力集中层，摩擦层包括摩擦部，摩擦部与第一电极层之间间隔预设距离，应力集中层包括多个第一锥形微结构，...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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