温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于纳米多晶硅薄膜的应变计，属于微波介质器件技术领域。包括衬底、纳米多晶硅薄膜方块电阻、金属导体接线层和保护层；纳米多晶硅薄膜方块电阻位于衬底之上，形成惠斯通电桥结构；金属导体接线层位于衬底之上，实现纳米多晶硅薄膜方块电阻与应变计的电极...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。