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本发明提供了一种超声强化研磨装置，包括支撑装置、加热装置、静电吸附装置和超声装置，支撑装置包括工作台以及设置于工作台上的工件安装板，工件安装板设有加工腔，工件安装板用于放置待加工工件；加热装置包括加热线圈，加热线圈设置于工作台上方，且加热线...
该专利属于广州大学所有，仅供学习研究参考，未经过广州大学授权不得商用。

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