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探测器组件制造技术
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文档序号:41854530
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本发明涉及特别是用于共焦激光扫描装置的组件,包括光敏探测器(1)以及用于聚焦和/或几何限制光进入探测路径(3)的聚光器件(2),目的是提供一种探测器能够高光灵敏度又尽可能快速生成图像的组件,其特征在于,探测路径(3)中设置有光谱分光器件(4...
该专利属于海德堡工程有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过海德堡工程有限责任公司授权不得商用。
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