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一种气浮垫结构的螺纹扫描仪制造技术
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下载一种气浮垫结构的螺纹扫描仪的技术资料
文档序号:41830506
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本技术公开了一种气浮垫结构的螺纹扫描仪,涉及螺纹扫描仪领域,本技术的技术方案包括横向运动模组和纵向运动模组;所述横向运动模组包括横向支撑平台和横向气浮平台;所述横向气浮平台于所述横向支撑平台横向滑动,所述纵向运动模组包括纵向支撑柱和竖直气浮...
该专利属于上海野齿仪器科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海野齿仪器科技有限公司授权不得商用。
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