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使用窄禁带宽度材料源极的隧穿晶体管及其制造方法技术
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下载使用窄禁带宽度材料源极的隧穿晶体管及其制造方法的技术资料
文档序号:4182416
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本发明属于微电子技术领域,具体公开了一种使用窄禁带宽度材料源极的隧穿场效应晶体管(TFET)及其制备方法。该隧穿场效应晶体管的源极采用窄禁带宽度材料,并采用U形沟道结构。由于该TFET采用了窄禁带宽度材料,其驱动电流得到提升,同时,由于该T...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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